ISO 14237:2010
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Определение атомной концентрации бора в кремнии с помощью однородно легированных материалов

 

26 страниц

Опубликован 09.07.2010

Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials